Senzor pritiska koristi monokristalnu silicijumsku ploču tipa N kao podlogu. Prvo, silikonska ploča je napravljena od duktilnog elementa koji nosi silu s određenim geometrijskim uzorkom. Ovdje je položaj nosivosti sile monokristalne silicijske pločice napravljen u četiri difuzna otpornika tipa P duž različitih kristalnih pravaca, a zatim se četiri otpornika koriste za formiranje četiri Arm Wheatstoneova mosta, pod djelovanjem vanjske sile, promjena vrijednosti otpora postaje izlaz električnog signala. Ovaj Wheatstoneov most s učinkom tlaka srce je senzora tlaka i općenito se naziva piezootporno strujno kolo (slika 1). Karakteristike piezootpornog mosta su: ①Vrijednost otpora četiri kraka mosta je ista (svi R0); PiePiezoresistivni učinak susjednih krakova mosta ima istu nominalnu vrijednost i suprotne znakove; ResistanceOtpor četiri kraka mosta. Koeficijent temperature je isti i na istoj temperaturi od početka do kraja. Na slici je R0 vrijednost otpora kada nema naprezanja pri sobnoj temperaturi; 墹 RT je promjena uzrokovana temperaturnim koeficijentom otpora (α) pri promjeni temperature; 墹 Rδ je promjena otpora uzrokovana silom naprezanja (ε); most Izlazni napon je u=I0 i Rδ=I0RGδ (izvor konstantne struje)
U formuli, I0 je konstantna struja izvora struje, a E konstantan napon izvora napona. Izlazni napon kola piezootpornog mosta odmah je pozitivno povezan sa silom naprezanja (ε) i nema nikakve veze s RT uzrokovanom temperaturnim koeficijentom otpornika, što uvelike smanjuje temperaturni pomak induktora. Najčešće korišteni poluvodički osjetnik tlaka je senzor za ispitivanje tlaka tekućine. Ključna struktura su sve membranske kutije sastavljene od sirovina fotonaponskih ćelija (slika 2). Dijafragma je napravljena u obliku čaše, a unutrašnjost čaše je dio vanjske sile, a krug premosnog mosta napravljen je na dnu čaše. Upotrijebite isti silikonski monokristalni materijal za izradu kružnog postolja, a zatim pričvrstite membranu na postolje. Ova vrsta senzora pritiska ima prednosti visoke osjetljivosti, male veličine, skrućivanja itd., Te se široko koristi u aviokompanijama, vazduhoplovstvu, instrumentaciji i medicinskoj opremi.
